5.2105 ГОСТ 5.2105{-73} Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции. ОКС: 31.260 КГС: Э72 Контрольно-испытательное оборудование для контроля качества изделий электронной и радиопромышленности Действие: С 01.09.73 Текст документа: ГОСТ 5.2105 «Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции.»