26239.8 ГОСТ 26239.8{-84} Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния. ОКС: 29.045 КГС: В59 Методы испытаний. Упаковка. Маркировка Действие: С 01.01.86 Изменен: ИУС 10/90 Примечание: см. сб. "ГОСТ 26239.0-84" Текст документа: ГОСТ 26239.8 «Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния.»